前面已经提到，光学显微镜早期的背散射电子探测器就是E. T.探测器，显微镜价格只是用栅网加负偏压的方法抑制二次电子而得到纯背散射电子信号。但这种探测器的收集效率很低。它收集到的仅为直接射向探头北京显微镜价格的很小立体角内的一些信号电子，显微镜价格因此图像的噪声大，而且它的阴影效果太强，灰度层次不够丰富。

北京显微镜价格近十余年来已研制成数种收集背散射电子的探头，光学显微镜包括片状或环状半导体硅探测器和各种闪烁体一光电倍增管组合式探测器等。北京显微镜前者(图3-9)利用背散射电子在硅(si)片中激发

产生的电子一空穴对，光学显微镜再由外电路收集后形成信号电流。光学显微镜低能二次电子在这里被金属接触层吸收而并不形成信号.后一类探测器是在典型E. T.探测器的基础上发展起来的。它对闪烁体的形状，显微镜价格尺度和放置位置等作了一些改进，显微镜价格有的则采用多闪烁体阵列。图3-10光学显微镜就是有关的四种类型。其中图(a)是高“检出角”(take offangle)探测器;(b)是低检出角探测器;(c)是Robinson广角探测器，闪烁体做成片状插在末透镜极靴下样品的正上方;(d)是多闪烁体阵列，由四个闪烁体和两个光电倍增管组合起来使用，可达到不同的实验目的.

背散射电子的产率71与很多因素有关.首先，它随样品材料原子序数z的增加而增加，尤其在低原子序数区中，北京显微镜价格产率曲线rr-z陡峭地单调上升，所以便于从图像强度来区分周期表中的相邻元家.其次，显微镜价格当样品倾角e<5a0时，显微镜价格各方向上的光学显微镜总背散射电子产率与倾角的变化几乎没有太大关系，但是在大倾角时，71随e的增加而增加.第三，北京显微镜价格样品倾角对背散射电子的空间角分布有明显影响。光学显微镜如果电子光学显微镜垂直入射到样品的表面，则背散射电子的空间角分布d材an随电子发射角f的变化，北京显微镜价格在极坐标中表现为一些国。(此处发射角p定义为背散射电子射出方向与样品表面法线方向之间的夹角.)但样品倾斜时，它的角分布由圆逐渐变长而形成有一个类似反射性的前向峰区，显微镜价格只是在样品面法线附近仍保留圆形分布的特点，正如图3-11 (a)所示。最后，光学显微镜可近似认为背散射电子的产率与入射电子的能量无关。

本文由编辑并上传。