偏光显微镜对电子束直径的要求.由于行((x轴)方向扫描是连续的，而显微镜帧(y轴〕的方向是不连续的，因此如电子束直径的尺度不合适，图像便容易出现价格缺陷，例如样品上的直边可能变成弯曲的，或尼康一个小点可在相邻两行中出现两次等等。为了避免这种情况，显微镜价格应保证样品上电子探针的直径与行扫的间距相等，而显像管中的电子束直径也应与样品上的行距相匹配。只有这样才能既不丢失信息(指电子束太细时的后果)，也不致造成图像模糊(当电子束斑大粗时)。

扫描电镜中还有一些其他的相应系统，如奥林巴斯显微镜电源系统、信号的放大和处理系统、真空系统以及新型电镜中常采用的计算机控制系统等。因为有些价格内容与透射电镜中的相似，有些又比较专业化。本书受篇幅所限，不拟逐项介绍.

数码显微镜扫描电镜中的主要像衬度，在讨论衬度以前先分析一下扫描电镜中主要信号电子(二次电子和背散射电子)的特性.图3-7是信号电子的能量分布。能量在50eV以下者是低能二次电子(SE)，其中以2^-5eV者为数最多，故曲线左部有一个峰区.对于不同的样品材料，这部分曲

线的形状大致都相同。只是生物显微镜二次电子的数目(或称产率)会有所不同，而不少材料发出的二次电子数可多于初始的入射电子数。二次电子是报价高分辨信息的携带者。因为它来自样品近表面约10nm左右的薄层，而且徕卡显微镜报价产区的横向尺寸也较小。背散射电子(BSE)是指入射电子在样品中受到大角度散射后反射回的电子.它可以是单次散射或多次散射的结果。由于人射电子失能多少不一，所以这种信号电子的能量分布范围很宽，可从低能直到接近入射电子的能量(eU )，报价如图3-7中50eV以上区域内全部平滑曲线所示。至于SOeV以下的背散射电子因为数目很少，且难于和低能二次电子区别，故不再单独加以考虑。背散射电子在高能区也形成一个峰，显微镜价格代表零失能区和等离子体损失的低失能电子(LLE)，其总峰宽较大.它们是单次大角度散射的结果，来自厚度仅为几nm的表面薄层，价格故利用它有助于提高图像分辨率及分析灵敏度.但从总体看，大部分背散射电子处于曲线平滑的低能区，偏光显微镜来自样品内较深层处(可达5m坛级)，所以图像分辨率受到一定限制。

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