如果换算到透镜左侧的物方，球差使徕卡显微镜样品上的几何点扩展成一个半径为(Ar, )。的圆斑。上述二式中，c..‘，显微镜分别为像方或物方的球差系数: a. + as一分别为像方或物方的电子束有效孔径角(或半张角)。因为孑L径角为as的实心锥形电子束中包含有从。- as不同孔径角的各电子束，它们会聚在不同位置处。显微镜因此在理想像点与最近透镜的像点之间的某处，徕卡必存在一最小模糊圆。偏光显微镜可以证明该像方最小模糊圆的半径为换算到物方最小模糊圆的半径为: 式中各符号的意义同((1-17〕式。电子光学中的球差是不可消除的。球差系数与透镜极靴的形状，显微镜焦距等有关，故在仪器的设计中应尽最设法减小。的值。此外在使用中还可用物镜光阑孔的大小来调节束孔径角as，从而减小球差的模糊斑。

畸变是显微镜物面较大时的一种重要几何像差。电子轨迹离轴的径向高度大者，受到透镜场的作用力大，不同高度处的电子束所受到的透镜作用力不同，显微镜最终像的放大倍数也就各不相同。但是只要保证电子轨迹的斜率不大，像与物之间仍能维持点一点对应关系。所以这种偏光畸变像差将造成像相对于物的比例失真，但不会导致显微镜像的模糊。请看图l一8。数学上可以用数码像平面中的径向偏离量来表示畸变，也可以用换算到物方的畸变量磁透镜中的畸变有两类:(一)Cd<0，对应的是桶形畸变，显微镜离轴越远的物点放大倍数越小长二)甸>。，对应的是枕形畸变，数码显微镜离轴越远的物点受到的放大倍数越大。

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